DLC dimantiem līdzīgais pārklājums ir metastable amorfā plānā plēvei, kurai ir augstas kvalitātes dimanta un grafīta īpašības, un tai ir labas cietības, siltumvadītspējas, zemas berzes koeficienta, lieliskas elektriskas izolācijas veiktspējas, augstas ķīmiskās stabilitātes utt. Priekšrocības, un to plaši izmanto mašīnu ražošanā, biomedicīnā, elektroniskos aprīkojumos un citos laukumos. DLC pārklājumu galvenokārt sagatavo ar fizikālās tvaika fāzes uzkrāšanās metodi un ķīmisko tvaika fāzes uzkrāšanās metodi, un to ražo ar īpašām uzkrāšanās iekārtām. Šis ir īss ievads piecām detaļām, kas veido pārklājuma nogulsnēšanas aprīkojumu.
1. Apkures un ūdens dzesēšanas sistēma
Apkures sistēma un ūdens dzesēšanas sistēma ir vienmērīgi sadalīti ap uzkrāšanās telpu, un apkures temperatūra, ātrums un ūdens tilpums ir kontrolējams un regulējams, un ir uzstādīta atbilstošā trauksmes ierīce; Rotējošā sistēma atrodas uzkrāšanās kameras apakšā un ir izolēta, izolējot keramiku, un rotācijas ātrums ir kontrolējams un regulējams.
2. vakuuma sistēma
Vakuuma sistēma sastāv no mehāniska sūkņa, sakņu sūkņa, difūzijas sūkņa un atbilstošajiem vadības vārstiem un mērīšanas elementiem, kas var brīvi pārslēgties starp augstu un zemu vakuumu atbilstoši procesa prasībām.
3. Gāzes piegādes sistēma
Gāzes piegādes sistēma tiek novietota uz uzkrāšanās kameras augšdaļas, un gāzes šķirnēs ietilpst H2, N2, AR, CHA, C2H2 un Si saturoša gāze, un divas saskarnes ir rezervētas uzkrāšanās kameras augšpusē, lai atvieglotu citu šķirņu pievienošanu nākotnē.
Lai iegūtu pārejas slāni, kas satur SI, SIH4 parasti izmanto kā materiāla gāzi, bet SIH4 ir bīstamāks, tāpēc mēs izvēlamies mazāk bīstamu Si saturošu gāzi kā SI avotu pārklājuma apstrādē.
4. Kraušanas mērķa sistēma
Iekārtai ir divas kraušanas vienības, PVD un PCVD, PCVD vienības primārais nodoms ir paredzēts dimantam līdzīga (DLC) uzkrāšanai, izvēlētais barošanas avots ir impulsa modulācijas barošanas avots, parametrus var noregulēt viens pēc otra, pēc tam, kad var būt parametru pielāgošana, pēc tam, kad tas ir tāds pats laiks, pēc tam, kad ir noteikts, ka tas ir vienāds ar DLC, pēc tam. ir pārklāts arī ar sarežģīto sagatavi; PVD vienības primārie nodomi ir: (1) dažādiem substrātiem, dažādus mērķus var aizstāt ar dažādiem mērķiem, un var izstrādāt dažādus līmes slāņus vai metāla leģētus DLC pārklājumus, kas satur dažādas elementu šķirnes; (2) Pēc mērķa nomaiņas var veidoties dažādi "funkcionālā slāņa + DLC" salikti pārklājumi dažādām kategorijām.
5. Elektriskās vadības sistēma
Elektriskās vadības sistēma pieņem PLC pilnu aktīvo vadību, ieskaitot resursdatoru, PLC programmējamu kontrolieri, adaptācijas pārveidotāju, vadības barošanas avotu, vakuuma vadības barošanas avotu un mērīšanas sistēmu, gaisa padeves vadības barošanas avotu, temperatūras kontroles sistēmu, dzesēšanas ūdens noteikšanas kontroles barošanas avotu utt reālā laikā. Ja rodas problēma, ierīce uzņemsies iniciatīvu uz trauksmi, un saskaņā ar trauksmes līmeni ierīce izvēlēsies "gaidīšanas" stāvokli vai tieši apstāsies un turpinās darboties pēc trauksmes novēršanas. Katras krāsns operācijas ieraksti un trauksmes ieraksti tiek aktīvi glabāti datorā, lai to varētu viegli atsaucēties. Saskaņā ar prasībām aprīkojumu var mainīt uz pilnībā manuālu darbību, un pārklājuma parametrus var pielāgot galvenās darbības saskarnē pārklājuma procesa laikā.